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光學零件加工創亞納米“中國精度”

光學零件加工創亞納米“中國精度”

分類:
行業動態
來源:
中國科學報
2019/04/27 16:07
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【摘要】:
本報訊(通訊員王握文、王孝恭)近日,國防科大精密工程創新團隊研制的兩種超精拋光裝備通過國家重大科技專項驗收,其關鍵技術創造了超精密光學零件加工的“中國精度”,有力支撐了“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個國家重大科技專項創新突破,3年中為國家創造直接經濟效益達2億多元。?  超精密加工是以高精度為目標的先進制造技術,納米精度被譽為超精密加工技術皇冠上的明珠,西方發達國家將其視為戰略資源,嚴
  本報訊(通訊員王握文、王孝恭)近日,國防科大精密工程創新團隊研制的兩種超精拋光裝備通過國家重大科技專項驗收,其關鍵技術創造了超精密光學零件加工的“中國精度”,有力支撐了“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個國家重大科技專項創新突破,3年中為國家創造直接經濟效益達2億多元。
 
  超精密加工是以高精度為目標的先進制造技術,納米精度被譽為超精密加工技術皇冠上的明珠,西方發達國家將其視為戰略資源,嚴格限制其出口。20世紀90年代,我國光學零件制造大多采用“手工+機械拋光”的傳統加工技術,無法進行大口徑、高精度、復雜面形的光學零件加工,相關領域的技術進步常常受困于此。
 
  面對我國光學零件制造水平的窘境,該校精密工程創新團隊在李圣怡教授率領下,瞄準基于可控柔體制造的第三代光學加工方法開展攻關,經過20多年頑強拼搏,突破了大型光學零件高精度、高效率、無損傷和低成本的技術瓶頸,在國內首次研制出擁有自主知識產權的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備,創造了我國光學零件加工亞納米的“中國精度”奇跡,成為繼美、德之后第三個掌握高精度光學零件制造加工技術的國家,也是目前世界上唯一同時具有磁流變和離子束拋光裝備研發能力的國家。
 
  近3年來,該團隊與中國科學院、中國航天科技集團、中國航空工業集團等單位合作,為“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”、“高分辨率對地觀測系統”等3個國家重大科技專項提供技術保障和裝備支撐,解決了一系列制約其創新發展的技術難題。該團隊先后獲得科技部重大科技專項頒發的“突出貢獻獎”和“突出成果獎”。
 
 
 
 
 
 
 
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